半導体製造

半導体製造&テスト装置

設計上の考慮事項

TI の IC とリファレンス・デザインは、高精度のプロセス制御と品質管理を想定した高精度半導体製造装置の設計に貢献します。

新世代の半導体製造装置の要件:

  • クリーンルーム環境での使用を想定した総合的な自動制御能力
  • 各製造ステップを実施する間の移動、位置決め、整列に関する高精度制御
  • 品質管理用途を想定した、高精度、サブミクロン (1μm 未満) 対応のジオメトリ測定能力
  • 画像処理と画像分析向けの強力なデジタル処理モジュール
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技術資料

アプリケーション・ノート

アプリケーション・ノート (5)

タイトル 種類 サイズ (KB) 日付 英語版
PDF 8.6 MB 2016年 6月 20日
PDF 261 KB 2016年 5月 17日
PDF 146 KB 2015年 4月 28日
PDF 132 KB 2015年 4月 16日
PDF 1.13 MB 2009年 7月 14日

製品カタログ/ホワイト・ペーパー

ホワイト・ペーパー (3)

タイトル 種類 サイズ (MB) 日付 英語版
PDF 688 KB 2018年 2月 1日
PDF 3.07 MB 2016年 8月 1日
PDF 2.13 MB 2016年 3月 31日

技術記事

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